測(cè)量顯微鏡的技術(shù)參數(shù)

       測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它精密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén)。工作臺(tái)除作X、Y坐標(biāo)的移動(dòng)外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測(cè)量；采用雙筒目鏡觀(guān)察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線(xiàn)照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)：

1、鏡筒：粗動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍 90毫米，微動(dòng)：調(diào)節(jié)范圍2毫米，高（Z）測(cè)量：范圍1毫米，讀數(shù)_min0.001毫米（比較測(cè)量），鏡筒：雙目鏡筒 俯角45度；

2、工作臺(tái)：左右（X軸）：移動(dòng)范圍25毫米，前后（Y軸）：移動(dòng)范圍25毫米，分辨率：1微米，旋轉(zhuǎn)：360度；

3、照明系統(tǒng)：光源：透射照明，8V12W 藍(lán)、綠色濾光片、反射照明，8V12W 磨沙燈泡、綠色透光片、斜 照 明、8V12W綠色濾光片、電源：AC220±22V 50/60Hz；

4、光學(xué)系統(tǒng)：目鏡：BWF 10X；物鏡：4X、工作距離17.5、焦距28.8，10X、工作距離11.6、焦距15.4，40X、工作距離0.66、焦距4.4；

5、X---Y軸測(cè)量范圍：50×13mm；

6、測(cè)微器分度值：0.01mm；

7、圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍：0°/360°；

8、儀器測(cè)量準(zhǔn)確度：儀器示值誤差±(5+L/15)；

9、放大倍數(shù) 25×/100×